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    新型傳感器全新應用—MEMS傳感器

    2013-12-19 22:52 來源:電子信息網 作者:和靜

    當今的趨勢,無論是物聯網的發展、智能手機的熱潮、移動網絡的崛起,都和傳感器有著密切的關系。傳感器已經滲透到我們日常生活,存在于每個角落,大到汽車、工業設備,小到手機,都大量使用了各種傳感器——這正符合了智能化的潮流,而傳感器則是其中最基本也是最重要的一環。

    傳感器種類多樣,因此根據用途、原理都有特定的分類。例如接近傳感器、 霍爾傳感器、溫度/壓力傳感器、電流傳感器等等。而傳感技術在近年來也得到了長足的發展,MEMS 就是最具代表性的例子,MEMS技術讓我們能夠在有限的空間內最大限度地發揮傳感器的功能,廣泛用于多種場合。

    那么什么是MEMS?在維基百科中,這項技術的解釋是:微機電系統(Microelectromechanical Systems,MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,它的操作范圍在微米范圍內。比它更小的,在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統。

    完整的MEMS是由微傳感器、微執行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統。MEMS傳感器能夠將信息的獲取、處理和執行集成在一起,組成具有多功能的微型系統,從而大幅度地提高系統的自動化、智能化和可靠性水平。它還能夠使得制造商能將一件產品的所有功能集成到單個芯片上,從而降低成本,適用于大規模生產。

    兩大應用領域推動MEMS傳感技術應用

    MEMS傳感器目前主要應用在汽車和消費電子兩大領域。

    消費電子領域中,任天堂公司曾在Wii無線游戲機中使用 MEMS器件,允許使用者通過運動和點擊互相溝通和在屏幕上處理一些需求,其原理是將運動(例如揮舞胳膊模仿網球球拍的運動)轉化為屏幕上的游戲行為。早前,任天堂和ADI宣布將ADI的ADXL330 iMEMS加速度計整合到任天堂的Wii游戲控制臺中。加速度計幫助任天堂把視頻游戲提升到一個新的水平。

    目前大多數手機都含有MEMS傳感器實現重力加速計和陀螺儀的功能,例如被用在iPhone中。通過對旋轉時運動的感知,iPhone可以自動地改變橫豎屏顯示,以便消費者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁面或者數字圖片。

    在汽車應用中,用到越來越多的MEMS傳感器。包括安全氣囊中的汽車安全氣囊感應器、懸架控制、翻滾等。另外還包括汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動監測系統,MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設一小塊感壓力敏芯片,自動測量輪胎氣壓、溫度、轉速和其它一些數據,并用特定的代碼發送出來。另外,汽車導航中的GPS信號補償、氣缸內壓力測量等等大多數汽車子系統中。

    iPhone 4上的MEMS 傳感器

    iPhone4 上用到的MEMS 傳感器大致一下幾種。影像傳感器:簡單說就是相機鏡頭,由于只牽涉到微光學與微電子,沒有機械成份在里頭,即便加入馬達、機械驅動的鏡頭。磁阻傳感器:簡單講就是感測地磁。感應地磁就是指南針原理,將這種地磁感應電子化、數字化,就稱為數字指南針(DigitalCompass)。老實說,數字指南針技術比較偏玩具性,因為用來感測地磁的磁阻傳感器,很容易受環境影響(如高壓電塔旁、馬達旁),必須時時校正才有用。磁阻傳感器目前沒有被視為熱門的MEMS組件,有些MEMS組件會追加整合磁阻感測能力。聲波傳感器:學名聲波傳感器,俗名麥克風。是的,iPhone4為了強化聲音質量,使用2組麥克風與相關運算來達到降噪(降低噪音)的效果,這種技術稱為數組麥克風 (ArrayMIC),事實上早在Apple實行之前,2004年就已經在PC上提出過,差別是蘋果用于手機,Wintel用于PC。麥克風需要微型化嗎?相當需要。且使用一個以上的麥克風,麥克風的體積縮小需求就更迫切,麥克風也牽涉到機械(聲波會使微型機械振動),并將機械振動轉換成電子信號,因此微型化的麥克風,是個不折不扣的MEMS傳感器。加速度傳感器:俗稱加速規、G-Sensor,可以感應物體的加速度性。事實上加速度傳感器的實現方式也是許多種,MEMS只是手法之一,用MEMS實現加速度傳感器確實是目前的趨勢。加速度傳感器一般有“X、Y兩軸”與“X、Y、Z三軸”兩種,兩軸多用于車、船等平面移動為多,三軸多用于飛彈、飛機等飛行物。而不用多說,Wii遙控器也是用三軸,iPhone可以感應實體翻轉而自動對應翻轉畫面,靠的就是這個傳感器。角加速度傳感器:iPhone4確實是率先使用陀螺儀的手機。更簡單講就是陀螺儀,陀螺儀實現技術有機械式與光學(紅外線、雷射)式,第六項的加速度傳感器比較能感測平移性,但對于物體有個軸心,進行角度性的移動, 則其感應效果不如陀螺儀好。

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    傳感器 MEMS

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