為了滿足對獲取高質量運動、生活信息等方面的期待不斷升溫的新型可佩戴裝置,以及可實現細致入微健康管理的保健裝置等對更精確檢測高低差的需求,該傳感器充分發揮歐姆龍核心技術之一的MEMS技術,實現了高精度。與此同時,在電池驅動必不可少的低能耗方面也達到了世界最高水準。
該絕對壓力傳感器通過將CMOS電路與MEMS傳感器合為一體,實現了長3.8毫米×寬3.8毫米×厚0.92毫米的小型封裝,從而更加適用于移動裝置等小型設備的裝配。通過裝配在活動量計(※2)上,即可檢測以前極為難測的上下樓梯等有高低差的運動,能為更精準地算出體能消耗做出貢獻。并通過發揮低能耗的特點,還適用于活動量計等電池驅動的應用方式,為電池的長壽命化做出貢獻。
通過高精度感應高低差,可辨別站、坐、躺、跌倒等人體動作,提供更有價值的信息。非常適用于健身、智能手表、老年人的看護等應用。
而且,它還是一款能提高導航系統GPS(全球定位系統)功能精度、增強室內導航功能、最適用于最近配有氣象監測、氣壓傳感功能急劇增多的智能手機及平板電腦的傳感器。
本公司今后也將充分發揮歐姆龍獨創的MEMS技術,為社會做出貢獻。
另外,該MEMS絕對壓力傳感器將于7月3日(周三)至5日(周五),在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013”展出。
有關產品詳情,請查看公司網站:http://www.omron.co.jp/ecb/products/sensor/special/mems/
(※1) 絕對壓力傳感器是檢測絕對真空為零基準壓力的的傳感器。
(※2) 該裝置與普通計步器有所不同,除了能測量步數以外,還可檢測中強度、低強度運動及生活活動(使用吸塵器清掃、搬運較輕的物品、烹飪等)時的活動量。
傳感器特點
1. 擁有相當于大約50厘米高低差氣壓變化的6Pa相對壓力檢測精度;
2. 擁有0.06Pa(相當于5毫米)的高分辨率;
3. 封裝尺寸:長3.8毫米×寬3.8毫米×厚0.92毫米的小型尺寸
4. 芯片尺寸:通過將CMOS電路與MEMS傳感器融為一體,實現長1.9毫米×寬1.9毫米×厚0.5毫米的小型尺寸;
5. 擁有300~1100hPa的寬檢測范圍;
6. 能為電池長壽命化做出貢獻的0.3~9.0uA低消耗電流(※3)
7. 內置溫度傳感器,能補償傳感器周圍溫度變化對氣壓變動造成的影響;
8. 采用I2C輸出方式,應對串聯通信。
(※3)根據測試條件及動作模式,消費電流有所不同。
技術特點
該傳感器充分應用本公司長年積累的半導體電路設計技術、CMOS信號處理技術以及MEMS技術,在單芯片中集成了壓力傳感器、模擬放大電路、數字化信號處理電路、非易失性存儲器等各項功能,從而可提高芯片的小型化、高性能化,以及抗噪性能。
而且,該傳感器還通過應用MEMS粘接技術,可加大傳感芯片內部的真空空腔容積,從而能使傳感器的輸入動態范圍最大化,實現高精度檢測。